DIN EN ISO 14644-2:2016 Edition
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Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 2: Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration
Published By | Publication Date | Number of Pages |
DIN | 2016-05 | 22 |
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Dieser Teil von ISO 14644 legt die Mindestanforderungen an einen Überwachungsplan für die Leistung eines Reinraums oder eines reinen Bereichs in Bezug auf die Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration auf der Grundlage von Parameter fest, die die Konzentration luftgetragener Partikel messen oder beeinflussen. Dieser Teil von ISO 14644 behandelt nicht die Zustandsüberwachung von Aspekten, wie z. B. Vibration oder die allgemeine Instandhaltung der Engineeringsysteme. Er ist nicht für die Überwachung von Partikelgruppen vorgesehen, die außerhalb des festgelegten unteren Schwellenwerts (Nachweisgrenze) der Partikelgröße im Bereich zwischen 0,1 µm und 5 µm liegen. Konzentrationen von ultrafeinen Partikeln (Partikel kleiner als 0,1 µm) werden in ISO 14644-12 behandelt.*Inhaltsverzeichnis
Published Code | DIN |
---|---|
Published By | Deutsches Institut für Normung |
Publication Date | 2016-05 |
Pages Count | 22 |
Language | Germany |
Descriptors | Anforderung, Außenbereich, Begriffe, Definition, Dokumentation, Festlegung, Flugstaub, Gehaltsbestimmung, Klassifikation, Klassifizierung, Konformität, Konzentration, Korngrößenverteilung, Luftqualität, Luftreinheit, Luftverschmutzung, Nachweis, Partikel, Partikelgröße, Partikelkonzentration, Prüfung, Prüfverfahren, Reinheitsgrad, Reinheitsklasse, Reinheitskriterium, Reinheitsprüfung, Reinluft, Reinraum, Reinraumtechnik, Sauberkeit, Schwebstoff, Spezifikation, Streulichtmessung, Teilchenanalyse, Teilchenanzahl, Übereinstimmung, Überwachung, Verfahren, Verunreinigung |
File Size | 1.5 MB |
ICS Codes | 13.040.35 - Cleanrooms and associated controlled environments |
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